Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2017. Вып. 1 (58). С. 7-13
RUS
|
Автор(ы) Середин Б. М., Попов В. П., Заиченко А. Н. |
|
Организация (и) Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова |
|
Название Формирование дискретных зон на основе алюминия для их термомиграции в кремнии |
|
Аннотация Выявлены основные типы дефектов, возникающих при формировании дискретных зон на основе алюминия избирательным смачиванием поверхности пластин кремния. Изучены зависимости дефектообразования от микрорельефа поверхности, толщины защитного покрытия оксида кремния, температуры процесса, скорости движения расплава, высоты расплава и концентрации добавок галлия к алюминию. Статистическая обработка большого массива экспериментальных данных позволила установить оптимальные условия процесса формирования зон и снизить суммарное относительное количество всех типов дефектов до значений, не превышающих 5 %. |
|
Ключевые слова термомиграция, жидкая зона, кремний, алюминий, смачивание, растворение |