Вестник Северо-Кавказского федерального университета. 2017. Вып. 3 (60). С. 24-27
RUS
|
Автор(ы) Мартенс В. Я., Крандиевский С. О., Никитин И. В |
|
Организация (и) Северо-Кавказский федеральный университет, Ставрополь |
|
Название |
|
Аннотация В статье представлена методика получения и первые результаты исследования тонких кристаллических пленок карбида кремния путем осаждения из газовой фазы в реакторе с холодными стенками. В качестве вещества прекурсора использовался триметилхлорсилан, в качестве газа носителя для образования парогазовой смеси использовался азот. Получение пленок производилось на установке химического синтеза Easytube 3000 производителя Firstnano. Получены и исследованы рентгенограммы синтезированных образцов. |
|
Ключевые слова карбид кремния, тонкие пленки, химическое осаждение.. |